󰊴 웨이퍼 테스트 프로세스1. 전체적인 테스트 흐름도일반적인 웨이퍼 레벨 테스트 프로세스는 테스트를 위한 디자인부터 시작된다. 이 단계에 서는 테스트를 위한 디자인(DFT: design for test)이 이루어진다. DFT는 IC 설계 하드웨어 제품 디자인에 특정 테스트 용이성 기능을 추가하는 기술이다. 추가된 기능의 전제 조건 들은 설계 하드웨어에 대한 제조 검사를 적용할 수 있도록 하는 역할을 수행한다. 제조 테스트의 목적은 제품 하드웨어나 제품의 정확한 기능에 영향을 미칠 수 있는 어떠한 제 조 결함이 없는지 확인한다. 테스트는 여러 단계에서 적용되는 하드웨어 제조 흐름 및 특 정 제품과 고객의 환경에서 하드웨어 유지 보수를 위해 사용될 수 있다. DFT는 테스트 프로그램의 개발 및 테스트 애플..

󰊱 웨이퍼 레벨 테스트 개요반도체 IC 웨이퍼 제조 공정 중에 발생된 결함들은 각각의 단위 공정에서 스크라이브 라 인(scribe line)안에 있는 테스트 모듈에서 기본적 전기 특성 테스트를 통해 간접적으로 소 자의 전기 특성을 찾아낸다. 더불어 웨이퍼 칩 상에서는 공정 중에 전기적 테스트를 할 수 없으므로 물리적 손상과 오염물질을 찾아내어 단위 공정을 최적화하는데 사용한다. 이 런 약식의 테스트는 고객이 원하는 사양의 소자 특성 검증 방법이 아니다. 소자의 총체적 인 검증 테스트는 웨이퍼 제작 공정이 완료된 후 DC, AC, 기능(function) 테스트 등을 통 하여 고객이 요구한 제품 특성 규격에 따라 양품과 불량으로 나누어 판별되고, 이 양품과 불량품의 비율이 제품의 테스트 수율이 된다. 테스..