패키지 후공정/웨이퍼 범핑 공정
웨이퍼 범핑 공정 개발하기 재배열 (RDL, Re-Distribution Layer) 알루미늄 패드의 위치를 임의로 변경하는 것을 총칭 웨이퍼 레벨 패키지 (WLP) - 웨이퍼 안 짜르고 그냥 패키지 재부동태화 (Re-Passivation) - I/O 패시베이션 개구가 표준 플립 칩 범프에 비해 작거나 너무 크게 되는 문제에 대해 보정 UBM (Under Bump Metalization) 형성 - 칩 패드와 솔더 범프 사이에서 UBM 층 형성이 필수적으로 요구 (barrier metal) 솔더 볼(범프) 형성 기판과 패드를 전기적으로 연결 - 플립 칩 설계 고려사항 (칩을 뒤집는다) 1. 신호선 폭과 간격 미세화, 기판의 층수의 최소화 2. 블라인드 및 매몰 비아/비아 드릴 기술 3. 코어 비아 한계치 ..
반도체 공정 및 설계/패키지 & 설계 & 검증
2022. 12. 29. 09:33